项目名称：   高真空金属蒸发镀膜机   项目编号：   清采比选******号

公告开始日期：   2024-04-18 16:49:30   公告截止日期：   2024-04-21 17:00:00

签约时间要求：   成交后7个工作日内   交货时间要求：   签订合同后30个工作日内

采购单位：******大学

国内合同付款方式：   货到付款100%

收货地址：******大学

采购商品：   高真空金属蒸发镀膜机   采购数量：   1   计量单位：   台

技术参数及配置要求：   一、真空腔室真空专用304不锈钢腔室，300×300×500mm；前开门结构。配内衬防污板，可旋转水冷；二、镀膜要求*镀膜蒸发速率：Al:10~30?/s，Cu :5~10?/s，Au:5~10?/s； Ag:5~15?/s；Ni:5~10?/s；Ti:1~5?/s；Pt:1~5?/s；根据实际工艺可自动调整。*镀膜速率控制要求：自动控制最小0.1A，手动控制0.02A（提供图片佐证）*镀膜方式：实现全自动镀膜。*可镀膜材料：Au/Cu/Al/Ag/Ni/Ti/Pt/Cr/Nb/Ga/In/Ir/Fe等，以及不常用低熔点金属等，氟化镁，氧化锰，C60，BCP,AlQ3等等低熔点化合物小分子材料等。*镀膜厚度均匀性：2英寸工件/4英寸工件，保证片内均匀性优于+/-4%，片间均匀性优于+/-4%；*镀膜厚度重复性：优于+/-1%；*附着力：符合ISO及国标军标要求。三、膜厚仪进口 INFICON品牌，型号: SQC-310，配备 1 只水冷探头；显示控制精度0.01 埃；四、真空系统不小于1100L/S泵组高真空抽气系统；五、基片台尺寸最大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。基片台旋转：0-20转/分钟，可调可控。基片台可水冷。六、蒸发源及电源热蒸发系统配2组蒸发源（可使用丝状源与舟状源）；配备水冷蒸发电极,不小于1.44KW金属蒸发电源。七、控制方式西门子PLC+西门子触摸屏全自动控制；所有阀门采用电动控制。八、报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。九、设备配电电压：AC220V/50HZ 功率：4.5KW十、设备震动*设备震动A级，符合ISO标准，噪音指数65分贝以下十一、设备尺寸占地面积小节约实验室实验空间。1.主机 外形尺寸：W550×D950×H1850mm* 仪器重量：118kg2.泵: 外形尺寸：W200×D500×H260mm* 仪器重量：36kg3.水冷机 外形尺寸：W230×D280×H380mm* 仪器重量：16kg十二、腔体洁净度要求*需提供高真空状态腔体气体分析报告。

质保期：   12个月